之前順冠講過(guò)靜電在生活生產(chǎn)中的危害，那么靜電對集成電路行業(yè)的危害有哪些呢？
第一、ESA。ElectroStaticAttraction靜電吸附，它會(huì )造成嚴重的污染。
我們知道IC生產(chǎn)工藝要求的是潔凈車(chē)間或超凈車(chē)間。但國內很少有廠(chǎng)家能做到無(wú)塵室里一粒particle都沒(méi)有，現在要求灰塵顆粒粒徑由原來(lái)的0.3μm降低到現在的0.1μm，但如果吸附的灰塵粒子的粒徑大于線(xiàn)條寬度時(shí)，很容易使產(chǎn)品報廢。
有時(shí)候客戶(hù)會(huì )問(wèn)，我們生產(chǎn)晶片的整道工序靜電防護做的很好，該接地的都接了，要用的防靜電設備也用了，而且凈化等級做的也很高，為什么放置一段時(shí)間后還會(huì )吸灰呢？那是因為生產(chǎn)加工晶片的機臺或工作車(chē)間都裝有FFU高效過(guò)濾器，當氣流與產(chǎn)品進(jìn)行摩擦后就會(huì )產(chǎn)生靜電，靜電累積到一定量的時(shí)候就會(huì )吸附灰塵。所以我們建議在高效過(guò)濾器下端裝不帶氣源的靜電消除器來(lái)保證整個(gè)空間的動(dòng)態(tài)平衡。
第二、ESD。ElectroStaticDischarge靜電放電，它會(huì )造成器件擊穿。
靜電放電是電荷積累的過(guò)程，當電荷積累到一定的程度，有個(gè)導體接近它就會(huì )產(chǎn)生靜電放電。舉個(gè)很簡(jiǎn)單的例子，在干燥的冬季，人走動(dòng)、摩擦后很容易積聚靜電，當我們碰到金屬把手或開(kāi)汽車(chē)門(mén)的時(shí)候會(huì )有觸電的感覺(jué)，這就是靜電放電，一般人體帶有3000-5000V的靜電時(shí)就會(huì )有明顯放電的感覺(jué)。
半導體元器件也是同樣的道理，如果帶有一定靜電量的半導體器件單獨放置或裝入電路模塊時(shí)，它馬上就會(huì )被擊穿。器件受到靜電放電的影響后，有可能不會(huì )立即出現功能性的損壞，但會(huì )影響元器件的可靠性。
靜電放電造成的損失每年可達到幾十億美元以上。因此，許多大型的元件和設備制造廠(chǎng)引進(jìn)專(zhuān)業(yè)技術(shù)以減小生產(chǎn)環(huán)境中的靜電積累。
